捷佳偉創：國內首臺完全自主研發的電子級硅芯清洗設備即將交付客戶

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，據捷佳偉創官方公眾號報道，常州捷佳創精密機械有限公司國內首臺完全自主研發的電子級硅芯清洗設備目前已經成功下線，將于近日部署至某合作客戶處。

據悉，此款硅芯清洗設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備，用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝，產品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

IT之家從官方公眾號得知，該產品的主要技術特點如下:

• 材料升級

• 與德國 Rochling 合力開發耐氧化，耐高溫材料用于槽體制作。

• 工藝升級

• 結合國外成熟工藝與機能水清洗工藝，清洗能力更強。

• 內部潔凈升級

• 內部流場的全新設計，搭配更高效 FFU、抽風通道及酸堿隔離裝置，內部更潔凈。

• 結構升級

• 底部龍門式 Robot 設計，運載更穩定，運動部件產生的 Particle 可更快排出設備外。

• 硅芯載體優化

• 硅芯載體優化，更穩定的結構，更小的接觸面積配合旋轉機構，清洗更徹底。

• 制作升級

• 槽體及槽內零件多采用折彎制作工藝，減少犄角疙瘩及焊接內的藏污納垢。

• 裝配升級

• 全設備設置在千級潔凈室生產。

官方表示，長期以來，電子級硅芯硅料清洗設備市場份額都被外國廠商占有，捷佳偉創作為太陽能光伏電池設備行業領軍企業及半導體設備制造商，將“堅持以研發制造一流專業設備，推動國內相關行業發展為己任”。

捷佳偉創宣稱，目前官方已實現表金屬 0.5ppbw 以上等級的電子級硅料批量出貨，2024 第一季度將推出 0.1ppbw 以下的產品。

捷佳偉創聲稱，未來公司將繼續秉承“技術領先，管理領先，服務領先”的發展戰略，繼續精進光伏電池生產設備及半導體濕法清洗設備研發，并向更廣闊的產品領域和更豐富的技術路線繼續發展，為客戶提供技術領先、質量過硬、服務周到的產品。

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